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公开(公告)号：KR20210008969A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：KR20190085020
申请日：2019-07-15
Applicant: KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY
Inventor： CHO NAM KYU
IPC: G01L1/22 , G01L7/08 , G01L9/04 , H01L41/113
Abstract: 본발명은스트레인게이지, 다이아프램구조체및 그를포함하는센서에관한것으로, 다이아프램에부착되는스트레인게이지의정렬오차에따른영향을최소화하기위한것이다. 본발명에따른센서는스트레인게이지와, 스트레인게이지가부착되는원통다이아프램을포함하는다이아프램구조체를포함한다. 다이아프램구조체는압력이인가되는관통구멍이형성된하부베이스, 하부베이스의관통구멍에연통되며일정높이의원통으로형성되며외주면에스트레인게이지가부착되는원통다이아프램, 및원통다이아프램의상부를덮으며관통구멍으로인가되는압력을원통다이아프램의내주면으로작용하도록하는상부베이스를포함한다. 스트레인게이지는길이방향저항패턴 2개와너비방향저항패턴 2개를대각선으로배치하고 4개의접속패드로연결하여원-칩(one-chip)으로구현한다.
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