公开(公告)号：DE102014112597A1

公开(公告)日：2015-03-05

申请号：DE102014112597

申请日：2014-09-02

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： BAEK IN BOK ,  YU HAN YOUNG ,  KIM YARK YEON ,  KIM YOUNG JUN ,  AHN CHANG GEUN ,  YOON YONG SUN ,  LEE BONG KUK ,  JANG WON ICK ,  LIM JI EUN

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: Eine Vibrationsvorrichtung, die einen Abstützbereich umfasst, der derart gebildet ist, dass er beide Enden einer Vibrationsregion bedeckt, sowie ein Verfahren zur Herstellung der Vibrationsvorrichtung werden vorgeschlagen. Die Vibrationsvorrichtung kann ein unteres Substrat umfassen, an dem eine Isolierschicht gebildet ist, ein oberes Substrat, das an die Isolierschicht angeschlossen ist, und kann eine Vibrationsregion umfassen, die vibriert und die von dem unteren Substrat um wenigstens einen vorbestimmten Abstand getrennt ist, sowie einen Abstützbereich, der derart gebildet ist, dass er beide Enden der Vibrationsregion bedeckt, um die Vibrationsregion abzustützen.