公开(公告)号：JP2911954B2

公开(公告)日：1999-06-28

申请号：JP9201790

申请日：1990-04-09

Applicant: KYANON KK

Inventor： FUJIOKA HIDEHIKO ,  MYAJI GOJI ,  FUKUDA YOSHIAKI ,  CHIBA JUJI ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  KARYA TAKUO ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F1/22 ,  G03F1/60 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03F1/14 ,  G03F1/16

公开(公告)号：JP2860578B2

公开(公告)日：1999-02-24

申请号：JP4958390

申请日：1990-03-02

Applicant: KYANON KK

Inventor： EBINUMA RYUICHI ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  KARYA TAKUO ,  SUDA SHIGEYUKI ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2775436B2

公开(公告)日：1998-07-16

申请号：JP22838788

申请日：1988-09-14

Applicant: KYANON KK

Inventor： SHIMODA ISAMU ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  UDA KOJI ,  KARYA TAKUO ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2644692B2

公开(公告)日：1997-08-25

申请号：JP1248195

申请日：1995-01-30

Applicant: KYANON KK

Inventor： KARYA TAKUO ,  KAWAI YASUO ,  OKUNUKI MASAHIKO ,  GOTO SUSUMU

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP2868546B2

公开(公告)日：1999-03-10

申请号：JP25707789

申请日：1989-10-03

Applicant: KYANON KK

Inventor： KUROSAWA HIROSHI ,  UDA KOJI ,  OZAWA KUNITAKA ,  UZAWA SHUNICHI ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  KARYA TAKUO

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2766935B2

公开(公告)日：1998-06-18

申请号：JP27187789

申请日：1989-10-20

Applicant: KYANON KK

Inventor： TANAKA YUTAKA ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  KARYA TAKUO ,  UZAWA SHUNICHI ,  AMAMYA MITSUAKI

IPC: G21K5/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：JP2728898B2

公开(公告)日：1998-03-18

申请号：JP25276188

申请日：1988-10-05

Applicant: KYANON KK

Inventor： IWAMOTO KAZUNORI ,  UZAWA SHUNICHI ,  KARYA TAKUO ,  EBINUMA RYUICHI

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2631526B2

公开(公告)日：1997-07-16

申请号：JP22348288

申请日：1988-09-08

Applicant: KYANON KK

Inventor： MOCHIZUKI NORITAKA ,  EBINUMA RYUICHI ,  WATANABE YUTAKA ,  UNO SHINICHIRO ,  KARYA TAKUO ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2864034B2

公开(公告)日：1999-03-03

申请号：JP2226990

申请日：1990-02-02

Applicant: KYANON KK

Inventor： SHIMODA ISAMU ,  KARYA TAKUO ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  OZAWA KUNITAKA ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2777915B2

公开(公告)日：1998-07-23

申请号：JP22154089

申请日：1989-08-30

Applicant: KYANON KK

Inventor： KUROSAWA HIROSHI ,  UDA KOJI ,  OZAWA KUNITAKA ,  UZAWA SHUNICHI ,  EBINUMA RYUICHI ,  KARYA TAKUO

IPC: G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01L21/68