公开(公告)号：JP2649543B2

公开(公告)日：1997-09-03

申请号：JP13561688

申请日：1988-06-03

Applicant: KYANON KK

Inventor： TERAJIMA SHIGERU ,  AMAMYA MITSUAKI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2885836B2

公开(公告)日：1999-04-26

申请号：JP18608089

申请日：1989-07-20

Applicant: KYANON KK

Inventor： AMAMYA MITSUAKI ,  KUROSAWA HIROSHI ,  UDA KOJI ,  OZAWA KUNITAKA ,  TERAJIMA SHIGERU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G01T1/29 ,  G21K5/00 ,  G21K5/04 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H05H13/04

公开(公告)号：JP2877352B2

公开(公告)日：1999-03-31

申请号：JP13379589

申请日：1989-05-26

Applicant: KYANON KK

Inventor： AMAMYA MITSUAKI ,  KUROSAWA HIROSHI ,  KAWAKAMI EIGO ,  OZAWA KUNITAKA ,  UDA KOJI ,  TERAJIMA SHIGERU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G21K5/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H05H13/04

公开(公告)号：JP2642933B2

公开(公告)日：1997-08-20

申请号：JP17658987

申请日：1987-07-15

Applicant: KYANON KK

Inventor： ENARI MASAHIKO ,  SAKANO YOSHIKAZU ,  TERAJIMA SHIGERU ,  KAWASE TOSHIMITSU ,  KASUGAYAMA YUKIO

IPC: B41J2/05 ,  B41J2/16 ,  H01L29/861

公开(公告)号：JP2640247B2

公开(公告)日：1997-08-13

申请号：JP22348388

申请日：1988-09-08

Applicant: KYANON KK

Inventor： TERAJIMA SHIGERU ,  AMAMYA MITSUAKI ,  UDA KOJI ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2644570B2

公开(公告)日：1997-08-25

申请号：JP1251489

申请日：1989-01-21

Applicant: KYANON KK

Inventor： AMAMYA MITSUAKI ,  TERAJIMA SHIGERU ,  YAJIMA MASATO ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G21K5/00 ,  G03F1/76 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30