公开(公告)号：EP3322263B1

公开(公告)日：2020-03-25

申请号：EP17200087.9

申请日：2017-11-06

Applicant: Korea Basic Science Institute

Inventor： YOU, Hyun Jong

IPC: H05H1/46

公开(公告)号：EP3322263A1

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：EP17200087.9

申请日：2017-11-06

Applicant: Korea Basic Science Institute

Inventor： YOU, Hyun Jong

IPC: H05H1/46

Abstract: There is provided a coaxial-cable coupled and water-cooled SWP (surface wave plasma) generator, wherein the generator comprises: a hollow connector (100) having a first inner space defined therein; a coaxial-cable (200) connected to the hollow connector (100), wherein the cable (200) has a core (210) configured to transmit an electromagnetic wave from an electromagnetic wave oscillating unit to the hollow connector (100), wherein the core (210) extends into the inner space of the hollow connector (100); a dielectric tube (300) having a first end portion electromagnetically coupled to the hollow connector (100) so that the electromagnetic wave transmitted into the hollow connector (100) is electromagnetically inputted into the dielectric tube (300); and a discharge gas injection unit (400) fluid-communicating with the dielectric tube (300) to inject a discharge gas into the dielectric tube (300).

Abstract translation: 提供了一种同轴电缆耦合且水冷的SWP（表面波等离子体）发生器，其中该发生器包括：中空连接器（100），其具有限定在其中的第一内部空间; （100）连接的同轴电缆（200），其中所述电缆（200）具有被配置为将来自电磁波振荡单元的电磁波传输到所述中空连接器（100）的芯（210），其中所述中空连接器 芯体（210）延伸到中空连接器（100）的内部空间中; 电介质管（300），其具有与中空连接器（100）电磁耦合的第一端部，使得传输到中空连接器（100）中的电磁波被电磁地输入到电介质管（300）中; 以及与介电管（300）流体连通以将放电气体注入介电管（300）中的放电气体注入单元（400）。