公开(公告)号：DE69807287D1

公开(公告)日：2002-09-26

申请号：DE69807287

申请日：1998-05-28

Applicant: LAM RES CORP ,  KLA TENCOR CORP

Inventor： PECEN JIRI ,  FIELDEN JOHN ,  CHADDA SAKET ,  LACOMB LLOYD J ,  JAIRATH RAHUL ,  KRUSSEL WILBUR C

IPC: B24B37/013 ,  B24B49/04 ,  B24D7/12 ,  G01B9/02 ,  G01B11/06 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H01L21/66 ,  B24B37/04

公开(公告)号：DE69807287T2

公开(公告)日：2003-03-20

申请号：DE69807287

申请日：1998-05-28

Applicant: LAM RES CORP ,  KLA TENCOR CORP

Inventor： PECEN JIRI ,  FIELDEN JOHN ,  CHADDA SAKET ,  LACOMB LLOYD J ,  JAIRATH RAHUL ,  KRUSSEL WILBUR C

IPC: B24B37/013 ,  B24B49/04 ,  B24D7/12 ,  G01B9/02 ,  G01B11/06 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306 ,  H01L21/66 ,  B24B37/04