公开(公告)号：BE1027225A1

公开(公告)日：2020-11-19

申请号：BE201905272

申请日：2019-04-24

Applicant: LAMBDA X

Inventor： ANTOINE PHILIPPE ,  BEGHUIN DIDIER ,  JONNAS LUC

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/45 ,  G02B27/54

Abstract: Système de mesure (200) par déflectométrie d’un échantillon (2) comprenant : - une source (10) pour générer un faisceau lumineux en un plan source (105) ; - un module d’illumination (19) pour former un faisceau d’illumination (9) comprenant : o un premier élément optique convergent (18) ; o un premier élément optique de sélection (16) présentant une première ouverture (160) ; - des moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion, pour former un motif (7), ladite première ouverture (160) étant configurée pour contrôler les angles dudit faisceau d’illumination (9) sur lesdits moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion ; - une lentille de Schlieren (20) pour obtenir un codage angle-intensité dudit motif (7) sur l’échantillon (2) ; - des moyens d'imagerie (40) et de détection (50) pour détecter une image dudit échantillon (2).

公开(公告)号：BE1027225B1

公开(公告)日：2020-11-23

申请号：BE201905272

申请日：2019-04-24

Applicant: LAMBDA X

Inventor： ANTOINE PHILIPPE ,  BEGHUIN DIDIER ,  JONNAS LUC

IPC: G01M11/02 ,  G01N21/45 ,  G02B27/54

Abstract: Système de mesure (200) par déflectométrie d’un échantillon (2) comprenant : - une source (10) pour générer un faisceau lumineux en un plan source (105) ; - un module d’illumination (19) pour former un faisceau d’illumination (9) comprenant : o un premier élément optique convergent (18) ; o un premier élément optique de sélection (16) présentant une première ouverture (160) ; - des moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion, pour former un motif (7), ladite première ouverture (160) étant configurée pour contrôler les angles dudit faisceau d’illumination (9) sur lesdits moyens de modulation optique matriciels (30) en réflexion ; - une lentille de Schlieren (20) pour obtenir un codage angle-intensité dudit motif (7) sur l’échantillon (2) ; - des moyens d'imagerie (40) et de détection (50) pour détecter une image dudit échantillon (2).