公开(公告)号：KR20180070519A

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：KR20180037771

申请日：2018-03-30

Applicant: LG ELECTRONICS INC

Inventor： JEONGKYU KIM ,  HYUNHO KIM ,  ILHYOUNG JUNG ,  YUJU HWANG

IPC: H01L31/18 ,  F21S2/00 ,  F21V7/00 ,  F21V9/00 ,  H01J61/16 ,  H01L31/12

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 본발명의한 측면에따른광 소결장치는전극패턴이형성된피처리기판을이송하는기판이송부; 기판이송부상부에위치하며, 광을출력하는복수의램프; 복수의램프로부터출력되는광을피처리기판쪽으로반사하는적어도 1개의반사판; 복수의램프하부에배치되는적어도 1개의광 필터; 및전극패턴과동일한광 투과패턴과, 광투과패턴을제외한나머지영역의광 차단패턴을구비하며, 광이광 투과패턴을통해전극패턴에입사되도록하는마스크를포함한다.