粘接装置和用该粘接装置制造有机发光器件的方法

    公开(公告)号:CN101097836A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200710105826.4

    申请日:2007-05-30

    Inventor: 俞忠根 全爱暻

    CPC classification number: H01L51/56 H01L27/3251

    Abstract: 本发明提供一种粘接装置和用该粘接装置制造有机发光器件的方法。该粘接装置包括工艺腔室、第一支架和第二支架以及开关阀。第一和第二支架设置在工艺腔室内以安全地装载和固定基板。开关阀设置在工艺腔室的预定区域处以通过打开和关闭工艺腔室来控制该工艺腔室内的压力。第一基板支架和第二基板支架中的至少一个包括静电吸盘,所述静电吸盘包括两个以上具有不同极性的电极和用于翻转电极极性的极性翻转单元。

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