公开(公告)号：CN101197293A

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200710199049.4

申请日：2007-12-07

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 李宝铉 ,  文泰亨

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/84 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L29/0665 ,  B82Y10/00 ,  H01L29/0673 ,  H01L29/66742

Abstract: 本发明提供薄膜晶体管的制造方法和用相同技术制造液晶显示器件的方法。根据薄膜晶体管的制造方法，栅绝缘层在含有栅极的基板上形成，光刻胶图案在栅绝缘层上形成。然后，在基板上形成带有第一极性电荷的SAM层，并剥离光刻胶图案。因此，将纳米材料滴入基板在SAM层上形成纳米导线，所述纳米材料带有第二极性电荷和纳米导线。然后，在与纳米导线形成的区域邻近的栅绝缘层上形成源极和漏极。施加预定电压到源极和漏极上，根据源极和漏极间电场的方向在一个方向上排列纳米导线。