公开(公告)号：CN101097381A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200710126009.7

申请日：2007-06-29

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 金雄植 ,  李旺宣

IPC: G02F1/1362 ,  G03F7/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L27/1288 ,  G02F1/13458 ,  G02F1/1368 ,  G02F2001/136236 ,  H01L27/1214

Abstract: 本发明公开了一种液晶显示器件的制造方法，包括：提供具有像素部的第一基板；在其中形成有栅极的第一基板上顺序层叠栅绝缘层、半导体层和第一导电层；用半色调掩模在第一导电层上形成第一PR图案，该第一PR图案在将要形成晶体管的沟道区域上构图为相对较薄；用第一PR图案对第一导电层进行构图；通过在第一PR图案上进行第一灰化工序来形成与第一导电层外围对齐的第二PR图案；使用第二PR图案对半导体层进行构图；使用第二PR图案形成源极/漏极；在第一基板上形成钝化层和像素电极；将第一基板粘附到第二基板；在第一基板和第二基板之间形成液晶层。