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公开(公告)号：CN101096746A
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN200710126902.X
申请日：2007-06-29
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
CPC classification number: C23C14/042
Abstract: 本发明公开了荫罩和具有该荫罩的淀积装置。该淀积装置包括：荫罩，该荫罩具有开口；室，在该室中具有所述荫罩；淀积单元，该淀积单元设置在所述室的下部，其中所述淀积单元容纳有淀积材料；和遮挡部件，该遮挡部件介于所述室的内侧与所述荫罩的外侧之间，用以防止所述淀积材料从所述室的内侧与所述荫罩的外侧之间穿过。防止了从淀积单元升华的淀积材料从荫罩的开口以外的地方穿过荫罩，从而防止了室的内部被污染，从而提高了薄膜淀积装置的工作能力。可以防止附于室的内侧的淀积材料与室分离，从而淀积材料不会成为颗粒。
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