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发明公开
薄膜晶体管、其制造方法及具有该薄膜晶体管的液晶显示装置的制造方法失效

公开(公告)号：CN101097964A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200710112653.9

申请日：2007-06-26

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 蔡基成 , 车承奂

IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L21/208 , G02F1/1362

Abstract: 本发明提供一种薄膜晶体管、其制造方法及具有该薄膜晶体管的液晶显示装置的制造方法。该薄膜晶体管包括：栅极；在所述栅极上的栅绝缘层；形成在所述栅绝缘层上的源极和漏极；与欧姆接触层交叠并位于所述源极与所述漏极之间的所述栅绝缘层上的多晶硅沟道层；位于所述源极和所述漏极的上方的欧姆接触区域，该欧姆接触区域用来使所述多晶硅沟道接触所述源极和所述漏极；以及位于所述源极和所述漏极的上方的掺杂层。

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