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公开(公告)号:CN101144983A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200710103737.6
申请日:2007-05-22
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/20 , G03F7/00 , G02F1/1362 , H01L21/027 , H01L21/00
CPC classification number: H01L51/0021 , H01L51/0545 , H01L51/102
Abstract: 本发明公开了一种薄膜图案的制造方法,包括:在基板上形成有机材料图案;在设置有该有机材料图案的基板上形成液相的金属材料;使该液相的金属材料硬化;以及去除位于该有机材料图案上的金属材料,并且使一些金属材料保留在与该有机材料图案不重叠的区域中。