公开(公告)号：WO2003100392A1

公开(公告)日：2003-12-04

申请号：PCT/EP2003/005296

申请日：2003-05-20

Applicant: LINDE AKTIENGESELLSCHAFT ,  DIETRICH, Andreas ,  KASPERSON, Peter ,  HAUGHOLT, Karl, Henrik

Inventor： DIETRICH, Andreas ,  KASPERSON, Peter ,  HAUGHOLT, Karl, Henrik

IPC: G01N21/15

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N21/09 ,  G01N21/15 ,  G01N21/39 ,  G01N21/59 ,  G01N21/85 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/3133 ,  G01N2021/396 ,  G01N2201/0233

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Messung einer Konzentration mindestens einer Komponente eines Prozessgases mit einem Laser (2a), wobei der Strahlengang des Lasers (2a) ein das Prozessgas enthaltendes Volumen (1) durchquert. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlengang teilweise frei durch das Prozessgas führt und teilweise von dem Prozessgas abgeschirmt verläuft, wobei nur der Teil des Strahlengangs, der frei durch das Prozessgas führt als Messstrecke (4) bezeichnet wird und zu einer laserspektroskopischen Messung der Konzentration herangezogen wird, bei der genau eine Absorptionslinie bestimmt wird.

Abstract translation: 本发明涉及一种装置和用于测量过程气体中的至少一种组分的浓度用激光（2a）中的方法，其中激光（2a）的光路的体积，含有该工艺气体（1）穿过。 本发明的特征在于，所述光束路径部分地通过处理气体暴露，并且延伸部分从工艺气体，其中，仅其中通过发布作为测量部的处理气体导致的光束路径的部分（4）被称为激光分光测定的浓度的屏蔽 其中的吸收线精确地确定被使用。

公开(公告)号：EP1508030A1

公开(公告)日：2005-02-23

申请号：EP03732429.0

申请日：2003-05-20

Applicant: Linde Aktiengesellschaft

Inventor： DIETRICH, Andreas ,  KASPERSON, Peter ,  HAUGHOLT, Karl, Henrik

IPC: G01N21/15

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N21/09 ,  G01N21/15 ,  G01N21/39 ,  G01N21/59 ,  G01N21/85 ,  G01N2021/151 ,  G01N2021/3133 ,  G01N2021/396 ,  G01N2201/0233

Abstract: The invention relates to a device and a method for measuring a concentration of at least one component of a process gas by means of a laser (2a), the beam path of the laser (2a) penetrating a volume (1) containing the process gas. The invention is characterized by the fact that one section of the beam path penetrates the process gas in a free manner while another section thereof is shielded from the process gas. Only the section of the beam path, which penetrates the process gas in a free manner, is designated as the section to be measured (4) and is used for measuring the concentration by means of laser spectroscopy, exactly one absorption line being determined for said measurement.