公开(公告)号：DD161138A1

公开(公告)日：1985-02-20

申请号：DD23031581

申请日：1981-05-27

Applicant: MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH

Inventor： SCHADE KLAUS ,  VOIGT REINHARD ,  MENZEL SIEGFRIED ,  PAUL WOLFRAM ,  FENDLER REINHARD

公开(公告)号：DD216737A1

公开(公告)日：1984-12-19

申请号：DD25320983

申请日：1983-07-20

Applicant: MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH

Inventor： SCHADE KLAUS ,  EISENREICH STEFFEN ,  PAUL WOLFRAM ,  FABIAN LUTZ

IPC: C23C15/00 ,  C23C13/08 ,  G01J3/38

公开(公告)号：DD247076A1

公开(公告)日：1987-06-24

申请号：DD28735186

申请日：1986-02-26

Applicant: MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH

Inventor： SCHADE KLAUS ,  SUCHANECK GUNNAR ,  MOENCH JENS-PETER ,  FUCHS MICHAEL ,  MOELLER RAINER

IPC: G01N21/62

公开(公告)号：DD228396A1

公开(公告)日：1985-10-09

申请号：DD26903484

申请日：1984-11-02

Applicant: MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH

Inventor： SCHADE KLAUS ,  MENZEL SIEGFRIED ,  FENDLER REINHARD ,  SUCHANECK GUNNAR ,  BRAUNE ANDREAS

IPC: H01L21/302

公开(公告)号：DD217244A1

公开(公告)日：1985-01-09

申请号：DD25439183

申请日：1983-08-31

Applicant: MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH

Inventor： SCHADE KLAUS ,  MENZEL SIEGFRIED ,  EISENREICH STEFFEN ,  FABIAN LUTZ

IPC: C23C14/40 ,  C23C16/44 ,  C23F1/12

公开(公告)号：DD204109A1

公开(公告)日：1983-11-16

申请号：DD23246181

申请日：1981-08-07

Applicant: MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH

Inventor： SCHADE KLAUS ,  VOIGT REINHARD ,  MENZEL SIEGFRIED ,  TEUBNER WINFRIED ,  PAUL WOLFRAM

IPC: H01L21/306 ,  C23C15/00