公开(公告)号：CN105314604A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510909944.5

申请日：2012-05-31

Applicant: MKS仪器有限公司

Inventor： D.K.欧文斯 ,  P.M.梅內希尼

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/74 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49155

Abstract: 臭氧发生器单元，包括在缺乏粘合剂的情况下保持该单元的各种层之间接触的两个导热板。该单元在单元的放电区域中缺乏包含铝的材料。

公开(公告)号：CN103702932B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201280038562.4

申请日：2012-05-31

Applicant: MKS仪器有限公司

Inventor： D.K.欧文斯 ,  P.M.梅內希尼

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/74 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49155

Abstract: 臭氧发生器单元包括在缺乏粘合剂的情况下保持该单元的各种层之间接触的两个导热板。该单元在单元的放电区域中缺乏包含铝的材料。

公开(公告)号：CN103702932A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201280038562.4

申请日：2012-05-31

Applicant: MKS仪器有限公司

Inventor： D.K.欧文斯 ,  P.M.梅內希尼

IPC: C01B13/11

CPC classification number: C01B13/11 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/22 ,  C01B2201/24 ,  C01B2201/32 ,  C01B2201/34 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/74 ,  Y10T29/49124 ,  Y10T29/49155

Abstract: 臭氧发生器单元包括在缺乏粘合剂的情况下保持该单元的各种层之间接触的两个导热板。该单元在单元的放电区域中缺乏包含铝的材料。