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公开(公告)号:CN1157594C
公开(公告)日:2004-07-14
申请号:CN00801886.3
申请日:2000-07-07
Applicant: NEC东金株式会社
IPC: G01L1/14 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01B7/22 , G01L1/142 , G01L1/144 , G01L1/148 , G01L3/106 , G01P2015/0814 , G01P2015/0828
Abstract: 一种静电电容式应变传感器,包括基板(119)和在基板上形成的两个交叉指型—对电极式电容器(209,209A)。该基板在具有平面(或曲面)的弹性体表面上,形成厚度大致一致、介电常数随变形变化的材料的电介质层膜(129)。该电容器由基板表面上的成对电极的交叉指型形成,该成对电极由多个线状导电体做成平行的线状电极形成。在该传感器中,在基板上形成一个电容器作为基准电容,将其用于另一个电容器的温度校正。为检测另一方向的变形,交叉指型中的指的方向大致互相垂直,或使线状电极相对平板中心呈同心圆形状。通过将电容器作为振荡电路的元件装入,可将变形值转换为电容和频率的变化,由于频率可精细抽出,故可容易地检测变形的细微变化。
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公开(公告)号:CN1432998A
公开(公告)日:2003-07-30
申请号:CN02132192.2
申请日:1997-09-16
CPC classification number: B82Y25/00 , G01R33/02 , G01R33/09 , G01R33/093 , G11B5/33
Abstract: 磁传感器包括具有互相相对的第一和第二表面的绝缘基片,具有末端互相相对的软磁元件并装在绝缘基片的第一表面上,和装在绝缘基片的第二表面上的导体,和耦合到软磁元件的第一和第二端的输出端口,以得到在第一和第二端间软磁元件的阻抗。阻抗变化依赖于加到软磁元件的磁场强度。在磁传感器中,软磁元件是软磁线。导体是接地导体。磁传感器还包括用接地导体连接软磁线的第一端的短路导体,同时输出端口连接短路导体和软磁线的第二端。软磁元件包括软磁薄膜。
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公开(公告)号:CN1110794C
公开(公告)日:2003-06-04
申请号:CN97121378.X
申请日:1997-09-16
CPC classification number: B82Y25/00 , G01R33/02 , G01R33/09 , G01R33/093 , G11B5/33
Abstract: 磁传感器包括具有互相相对的第一和第二表面的绝缘基片,具有末端互相相对的软磁元件并装在绝缘基片的第一表面上,和装在绝缘基片的第二表面上的导体,和耦合到软磁元件的第一和第二端的输出端口,以得到在第一和第二端间软磁元件的阻抗。阻抗变化依赖于加到软磁元件的磁场强度。在磁传感器中,软磁元件是软磁线。导体是接地导体。磁传感器还包括用接地导体连接软磁线的第一端的短路导体,同时输出端口连接短路导体和软磁线的第二端。软磁元件包括软磁薄膜。
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