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1.发明公开SCHALTUNG ZUM FESTSTELLEN UND MESSEN VON GERÄUSCHEN IN INTEGRIERTEN HALBLEITERSCHALTUNGEN 审中-公开电路，用于半导体集成电路调查结果及噪声的测量
公开(公告)号：EP1662569A4
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：EP04771939
申请日：2004-08-20
Applicant: NEW IND RES ORGANIZATION
Inventor： NAGATA MAKOTO
IPC: H01L27/04 , G01R29/26 , G01R31/28 , G01R31/3173
CPC classification number: G01R29/26 , G01R31/3173 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
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