公开(公告)号：DE112017001270T5

公开(公告)日：2018-11-29

申请号：DE112017001270

申请日：2017-01-12

Applicant: NGK INSULATORS LTD JAPAN

Inventor： TAKAGAKI TATSURO ,  MIYAZAWA SUGIO ,  IDE AKIYOSHI

IPC: H05K3/40 ,  H05K3/26

Abstract: Eine Metallpaste wird in ein Durchgangsloch eines Keramiksubstrats zugeführt und zum Erzeugen eines porösen Metallkörpers erwärmt. Eine Glaspaste wird auf eine Hauptoberfläche des porösen Metallkörpers aufgebracht, während die Glaspaste in offene Poren des porösen Metallkörpers imprägniert wird. Die Glaspaste wird durch Erwärmen ausgehärtet, so dass eine Glasschicht auf der Hauptoberfläche des porösen Metallkörpers gebildet wird, und so dass die Glaspaste, die in die offenen Poren imprägniert worden ist, zu Glasphasen gemacht wird. Die Glasschicht wird entfernt, so dass ein Verbindungssubstrat 10 erhalten wird, das ein Keramiksubstrat 11A und Durchgangsleiter 11 aufweist, die jeweils in Durchgangslöchern 2A bereitgestellt sind. Der Durchgangsleiter 11 umfasst den porösen Metallkörper und Glasphasen.