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公开(公告)号:KR20180057662A
公开(公告)日:2018-05-30
申请号:KR20187010989
申请日:2016-11-10
Applicant: NHK SPRING CO LTD
Inventor: AIKAWA NAOYA , HIRANO SATOSHI , YAMAUCHI YUICHIRO
CPC classification number: B05D1/12 , B05D7/24 , B22F1/00 , B22F9/08 , B32B15/01 , B32B15/02 , B32B15/04 , B32B15/20 , C04B41/90 , C22C9/00
Abstract: 방열효과가높고, 열부하가가해졌을때에도절연기재의균열등의문제가없음과함께, 금속피막의보이드등이없는적층체및 적층체의제조방법을제공하는것. 본발명에관련된적층체는, 절연성을갖는기재 (10) 와, 기재 (10) 의표면에형성된금속또는합금을주성분으로하는중간층 (50) 과, 함유하는수소량이 0.002 질량% 이하인구리분말로이루어지고, 중간층 (50) 상에적층되어이루어지는금속피막인회로층 (20) 을구비하고, 중간층 (50) 과회로층 (20) 의계면이소성변형되어있는것을특징으로한다.
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公开(公告)号:EP3115481A4
公开(公告)日:2017-10-11
申请号:EP15758220
申请日:2015-02-25
Applicant: NHK SPRING CO LTD
Inventor: TAKIMOTO MASARU , YAMAUCHI YUICHIRO , HIRANO SATOSHI , AIKAWA NAOYA
IPC: C23C24/04
CPC classification number: C23C24/04
Abstract: For a laminate according to the present invention, a metallic coating is formed by accelerating copper powder containing 0.002% to 0.020% by weight of phosphorus and having been subjected to reduction treatment together with gas heated to a temperature lower than the melting point of the copper powder, spraying the copper powder onto the surface of a substrate while keeping the copper powder in the solid state, and depositing the copper powder on the substrate.
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公开(公告)号:JP2017084523A
公开(公告)日:2017-05-18
申请号:JP2015209886
申请日:2015-10-26
Applicant: 日本発條株式会社 , Nhk Spring Co Ltd
Inventor: HANAMACHI TOSHIHIKO , AIKAWA NAOYA
IPC: H05B3/68 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/683 , H05B3/18 , H05B3/74
Abstract: 【課題】温度の面内均一性が高いヒータユニットを提供する。【解決手段】ヒータユニット10は、第1ヒータ部142と、第1ヒータ部とは独立して制御される第2ヒータ部144と、第1ヒータ部と第2ヒータ部との間に対応する領域に溝が設けられた基材120と、溝の開口端に配置され、溝と共に閉空間を提供する蓋部130と、を有する。また、第1ヒータ部及び第2ヒータ部を覆う絶縁層150と、絶縁層を介して基材に取り付けられた静電チャックと、をさらに有していてもよい。蓋部及び溝によって提供される閉空間は真空であってもよい。【選択図】図2
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公开(公告)号:JP2015032758A
公开(公告)日:2015-02-16
申请号:JP2013162815
申请日:2013-08-05
Applicant: 日本発條株式会社 , Nhk Spring Co Ltd
Inventor: HIRANO TOMOSUKE , AIKAWA NAOYA
CPC classification number: H01L23/3677 , H01L23/367 , H01L23/3735 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 【課題】熱サイクル下でのそり量を抑制しうる放熱板、パワーモジュールおよび放熱板の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の放熱板10は、板状をなし、主面中央部に側面が主面に対し10〜45?の傾斜角を有する溝部3を有する金属または合金からなる第1部材1と、溝部3内または溝部3内から第1部材1の厚さ方向に、第1部材1を構成する材料より熱伝導率が大きい金属または合金が積層されてなる第2部材2と、を備え、第2部材2は、第2部材2を構成する金属または合金の粉末材料を、該粉末材料の融点より低い温度に加熱されたガスと共に加速し、第1部材1の溝部3内、または溝部3内から第2部材2の厚さ方向に延在するように固相状態のままで吹き付け堆積させて積層させたことを特徴とする。【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:提供热循环中可以抑制翘曲的热量。解决方案:散热器10包括由金属或金属合金构成的第一平面构件1,该第一平面构件1位于 其主表面具有凹槽3,其中侧表面对于主表面具有10-45°的倾斜角度;第二构件2,其通过层压金属或金属合金形成,其导热率高于材料的热导率 构成第一构件,在第一平面构件1的厚度方向上的槽3或槽3中。第二构件2通过将构成第二构件2的金属或金属合金的粉末材料一起加热而形成 加热到低于粉末材料的熔点的温度的气体,并且以固相的状态吹入以在第一构件1的槽3中延伸,或者在第二构件1的厚度方向上从槽3延伸 会员2,那里 通过沉积和层压粉末材料。
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