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1.

发明公开
标准样品及其制造方法审中-实审

公开(公告)号：CN115552254A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202080100681.2

申请日：2020-05-14

Applicant: NTT尖端技术株式会社

Inventor： 小平晃 , 丸山隆志 , 奥哲

IPC: G01Q40/02 , G01N1/00 , G01N1/28

Abstract: 通过具有晶体各向异性的蚀刻处理对基板(101)进行蚀刻，从而形成从基板(101)的主表面到基板(101)的内部的凹部(104)。侧表面(105)几乎是(111)平面，并且蚀刻几乎不进行。结果，凹部(104)垂直于长度方向的横截面具有矩形形状。由于掩模图案(102)的开口(103)在平面图中具有矩形形状，所以凹部(104)的开口在平面图中具有矩形形状，并且凹部(104)形成为例如矩形平行六面体形状。凹部(104)包括侧表面(105)，所述侧表面(105)形成垂直于基板(101)的主表面的一个平面。侧表面(105)是小平面或琢面并且是从(111)平面倾斜的倾斜表面。

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