公开(公告)号：CN101558006A

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200780045825.3

申请日：2007-12-10

Applicant: NXP股份有限公司

Inventor： 彼得·G·斯滕肯

IPC: B81B3/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/016 ,  B81C2201/017 ,  Y10T29/49105

Abstract: 本发明涉及MEMS器件，其包括：第一电极和第二电极，第二电极借助于悬挂结构而悬起并距第一电极一定距离。MEMS器件还包括至少一个变形电极。当通过变形电极施加静电变形力时，第二电极和悬挂结构之一或这二者能够塑性变形。这样，可消除在制造不同的器件或操作单个器件期间出现的第二电极的关断状态位置的改变。

公开(公告)号：CN101558006B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200780045825.3

申请日：2007-12-10

Applicant: NXP股份有限公司

Inventor： 彼得·G·斯滕肯

IPC: B81B3/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0056 ,  B81B2201/016 ,  B81C2201/017 ,  Y10T29/49105

Abstract: 本发明涉及MEMS器件，其包括：第一电极和第二电极，第二电极借助于悬挂结构而悬起并距第一电极一定距离。MEMS器件还包括至少一个变形电极。当通过变形电极施加静电变形力时，第二电极和悬挂结构之一或这二者能够塑性变形。这样，可消除在制造不同的器件或操作单个器件期间出现的第二电极的关断状态位置的改变。

公开(公告)号：CN101288137A

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200680038014.6

申请日：2006-10-10

Applicant: NXP股份有限公司

Inventor： 特奥多尔·G·S·M·赖克斯 ,  彼得·G·斯滕肯

IPC: H01G5/16 ,  B81B3/00 ,  H01H59/00

CPC classification number: H01G5/16

Abstract: 一种微机电器件，该器件具有基板(60)、可移动元件(15)、被布置在基板和可移动元件上以移动可移动元件的电极对(40)，和对电极供电的控制器(50)。为了将可移动元件移动到中间位置，在移动过程中施加了一个或多个脉冲，来定时补偿移动的欠阻尼或过阻尼。这可以降低稳定延迟。这种器件适用于可调RF电容器。为了控制间隙的降低，最大电源电平的单个脉冲补偿了器件的固有迟缓和过阻尼。为了补偿欠阻尼，脉冲具有对应于谐振频率的周期，并且包括高于或低于最终电源电平的峰和谷，以便相继的峰和谷更接近于给定的供电电平。