公开(公告)号：EP1647334B1

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：EP05090326.9

申请日：2003-05-12

Applicant: Nanometrix Inc.

Inventor： Picard, Gilles ,  Schneider, Juan

IPC: B05D1/20

CPC classification number: G11B5/842 ,  B01D69/122 ,  B05D1/00 ,  B05D1/20 ,  B05D1/204 ,  B05D1/206 ,  B05D2252/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/28185 ,  H01L23/49883 ,  H01L29/51 ,  H01L29/513 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：EP1647334A1

公开(公告)日：2006-04-19

申请号：EP05090326.9

申请日：2003-05-12

Applicant: Nanometrix Inc.

Inventor： Picard, Gilles ,  Schneider, Juan

IPC: B05D1/20

CPC classification number: G11B5/842 ,  B01D69/122 ,  B05D1/00 ,  B05D1/20 ,  B05D1/204 ,  B05D1/206 ,  B05D2252/02 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/28185 ,  H01L23/49883 ,  H01L29/51 ,  H01L29/513 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: A method and apparatus (10) for making thin layers from particles, wherein the particles are deposited on a carrier fluid flowing by gravity along a ramp (12) leading to a dam (18). The particles are held back at the bottom of the ramp (12), thereby causing the particles to be piled up one against the other in a monolayer configuration.

Abstract translation: 一种用于从颗粒制造薄层的方法和装置（10），其中所述颗粒沉积在通过重力沿着通向坝（18）的斜坡（12）流动的载体流体上。 颗粒被保持在斜面（12）的底部，从而使颗粒以单层构造堆叠成一个彼此。