Bindungsverfahren für Wafer und Struktur der Bindungsstelle

    公开(公告)号:DE112012004162B4

    公开(公告)日:2017-12-21

    申请号:DE112012004162

    申请日:2012-09-27

    Abstract: Bindungsverfahren für Wafer, wobei ein Arbeitsschritt, in dem an der Oberfläche eines ersten Wafers (1) eine erste Bindungsstelle (3) ausgebildet wird, indem auf den ersten Wafer (1) eine Diffusionsverhinderungsschicht (7) aus einem mit AuSn schlecht benetzbaren Material geschichtet wird und an der Oberfläche dieser Diffusionsverhinderungsschicht (7), vom Rand dieser Diffusionsverhinderungsschicht (7) nach innen versetzt, eine Klebeschicht (8) ausgebildet wird, ein Arbeitsschritt, in dem an der Oberfläche eines zweiten Wafers (11) eine zweite Bindungsstelle (13) ausgebildet wird, und ein Arbeitsschritt vorgesehen sind, in dem der erste Wafer (1) und der zweite Wafer (11) einander gegenübergestellt werden und die erste Bindungsstelle (3) und die zweite Bindungsstelle (13) mittels AuSn Lötzinn eutektisch miteinander verbunden werden.

    静電容量式圧力センサ
    6.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019090733A

    公开(公告)日:2019-06-13

    申请号:JP2017220488

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 【課題】圧力が印加されて変形する基板に生じる歪みを抑制可能な静電容量式圧力センサを提供する。【解決手段】静電容量式圧力センサは、可撓性を有し、一方の面の一部の領域に第1の電極が設けられたフレキシブル基板と、前記一方の面に対向する面に第2の電極が設けられた硬質基板と、前記第1の電極と前記第2の電極との間を支持するとともに前記第1の電極と前記第2の電極との間に中空部を設けるように立設された絶縁性の第1壁部と、前記フレキシブル基板における前記第1の電極が設けられていない領域と前記第2の電極との間に、前記フレキシブル基板と前記第2の電極との間を支持するように立設され、平面視において環形状に形成された導電性の第2壁部であって、前記第2の電極から電気的な配線を取り出す第2壁部を更に備える。【選択図】図2

    静電容量式圧力センサ
    7.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019090734A

    公开(公告)日:2019-06-13

    申请号:JP2017220489

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 【課題】より簡易な配線構造を実現できる静電容量式圧力センサを提供する。【解決手段】静電容量式圧力センサは、可撓性を有し、第1の電極と前記第1の電極と離間した取り出し電極とが一方の面に設けられたフレキシブル基板と、前記一方の面に対向する面に第2の電極が設けられた硬質基板と、前記第1の電極と前記第2の電極との間を支持するとともに前記第1の電極と前記第2の電極との間に中空部を設けるように立設された絶縁性の壁部と、を備え、前記中空部において、前記第1の電極が前記第2の電極に対して撓むことで生じる静電容量の変化を検出することにより、前記第1の電極と前記第2の電極との対向面に向けて印加される圧力を測定する、静電容量式圧力センサであって、前記取り出し電極と前記第2の電極との間に、前記取り出し電極と前記第2の電極との間を支持するように立設された導電性の接続部を更に備える。【選択図】図2

    静電容量式圧力センサ
    8.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019090729A

    公开(公告)日:2019-06-13

    申请号:JP2017220469

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 【課題】2つの基板を接合して形成される静電容量式のシート型圧力センサにおいて、良好な測定精度を有すると共に、電極部分の位置がずれて接合されることを抑制する技術を提供する。【解決手段】本発明に係る圧力センサは、静電容量式の圧力センサであって、可撓性を有し、一方の面の一部の領域に第1電極及び第2電極が設けられたフレキシブル基板と、前記第1電極及び第2電極と対向、かつ離間して配置される第3の電極を備える硬質基板と、を有し、前記フレキシブル基板と前記硬質基板とは、対向面において接合されており、平面視において前記第1電極及び第2電極が設けられる前記一部の領域の面積が、前記硬質基板の面積よりも大きい、ことを特徴とする。【選択図】図1

    静電容量式圧力センサ
    9.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019090732A

    公开(公告)日:2019-06-13

    申请号:JP2017220487

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 【課題】装着性を向上した静電容量式圧力センサを提供する。【解決手段】静電容量式圧力センサは、可撓性を有するシート基板およびシート基板に設けられた複数の第1の電極を含むフレキシブル基板と、第1の電極に対向して配置される第2の電極を含み、フレキシブル基板との間に中空部を介してフレキブル基板に対向配置された複数の硬質基板と、を備え、中空部において、第1の電極が第2の電極に対して撓むことで生じる静電容量の変化を検出することにより、第1の電極における第2の電極との対向面に向けて印加される圧力を測定し、複数の硬質基板の長手方向が、シート基板の長手方向と一致又は直交するように、複数の硬質基板がシート基板に配置されている。【選択図】図1

    静電容量式圧力センサ
    10.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2019090731A

    公开(公告)日:2019-06-13

    申请号:JP2017220486

    申请日:2017-11-15

    Abstract: 【課題】フレキシブル基板と硬質基板との剥離を抑制する。【解決手段】静電容量式圧力センサは、第1の電極を含み、可撓性を有するフレキシブル基板と、第1の電極に対向して配置される第2の電極を含み、フレキシブル基板との間に中空部を介してフレキシブル基板に対向配置された硬質基板と、フレキシブル基板と硬質基板との間であって、中空部を囲むように設けられ、フレキシブル基板と硬質基板とを接合する接合部と、接合部の周囲であって、フレキシブル基板と硬質基板との間に設けられた補強樹脂と、を備え、中空部において、第1の電極が第2の電極に対して撓むことで生じる静電容量の変化を検出することにより、第1の電極における第2の電極との対向面に向けて印加される圧力を測定し、補強樹脂が、フレキシブル基板の一部、硬質基板の一部および接合部の一部を覆っている。【選択図】図1

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