公开(公告)号：CN101384888A

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200780005898.X

申请日：2007-02-15

Applicant: ONERA(法国宇航院)

Inventor： J·普里莫特 ,  S·韦尔盖 ,  N·盖里诺 ,  R·海尔达 ,  M·托维

IPC: G01J9/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J2009/0226

Abstract: 本发明与波前分析方法有关，该方法涉及采用频差的多侧干涉测量法。根据本发明，在待分析的光束的路径上放置具有二维网格的衍射光栅(GR)并且处理至少两种不同颜色的至少两个干涉图，每个干涉图是在一平面(PS)中从两个具有不同衍射级的子光束(R1，R2)获得的。本发明可用于分析和校正错位波前(S)。

公开(公告)号：CN101384888B

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN200780005898.X

申请日：2007-02-15

Applicant: ONERA(法国宇航院)

Inventor： J·普里莫特 ,  S·韦尔盖 ,  N·盖里诺 ,  R·海尔达 ,  M·托维

IPC: G01J9/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J9/02 ,  G01J2009/0226

Abstract: 本发明与波前分析方法有关，该方法涉及采用频差的多侧干涉测量法。根据本发明，在待分析的光束的路径上放置具有二维网格的衍射光栅(GR)并且处理至少两种不同颜色的至少两个干涉图，每个干涉图是在一平面(Ps)中从两个具有不同衍射级的子光束(R1，R2)获得的。本发明可用于分析和校正错位波前(S)。