DISPOSITIVO DE SISTEMA ELECTROMECÁNICO (EMS) Y MÉTODO PARA LA ELABORACIÓN DE DICHO DISPOSITIVO

    公开(公告)号:AR095295A1

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:ARP140100089

    申请日:2014-01-09

    Applicant: PIXTRONIX INC

    Abstract: Dispositivo y método para sistemas electromecánicos que tienen vigas de las paredes laterales. En un aspecto, un dispositivo incluye un sustrato que tiene un primer electrodo y un segundo electrodo, y un transporte móvil integrado en forma monolítica con el sustrato, y que tiene una primera pared, una segunda pared, y una base. Cada una de la primera y la segunda pared tiene una primera dimensión por lo menos cuatro veces más grande que una segunda dimensión. La primera y la segunda pared definen sustancialmente lados verticales paralelos del transporte, y la base está posicionada en forma ortogonal a la primera y la segunda pared y forma un fondo horizontal del transporte, lo que proporciona un soporte estructural a la primera y la segunda pared. La primera pared y el primer electrodo definen un primer condensador, y la segunda pared y el segundo electrodo definen un segundo condensador.

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