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公开(公告)号：AT14861U1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：AT612015
申请日：2015-03-02
Applicant: PLANSEE SE
Inventor： WERNINGHAUS THOMAS , MAYR-SCHMÖLZER BERNHARD , KATHREIN MARTIN
IPC: H01J37/317
Abstract: Die Erfindung beschreibt einen lonenimplanter, der zumindest eine Komponente aus einem Refraktärmetall der Gruppe W, W-Legierung, Mo und Mo-Legierung umfasst. Die Oberfläche dieser Komponente weist zumindest bereichsweise eine Schicht auf, die zumindest bereichsweise aus zumindest einer Verbindung zumindest eines Elements ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus C, B und N mit zumindest einem Element, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus W und Mo, gebildet ist.
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