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发明专利
Transition metal dielectric alloy materials for mems 未知

公开(公告)号：AU9322001A

公开(公告)日：2002-03-04

申请号：AU9322001

申请日：2001-08-23

Applicant: REFLECTIVITY INC

Inventor： REID JASON S

IPC: B81B3/00 , B44C1/22 , H01L21/00

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