Hermetischer Verteiler für Analysegeräte

    公开(公告)号:DE112013006502T5

    公开(公告)日:2015-12-24

    申请号:DE112013006502

    申请日:2013-11-23

    Abstract: Ein planarer Verteiler (20) umfasst eine erste, im Allgemeinen ebene Schicht (24), welche eine Mehrzahl von durchgehenden Aperturen umfasst. Eine zweite Schicht (26) umfasst eine Mehrzahl von durchgehenden Aperturen. Eine Kanalschicht (32, 34) definiert eine Mehrzahl von Kanälen (30) darin und ist zwischen der ersten Schicht (24) und der zweiten Schicht (26) zwischengesetzt. Es erstreckt sich zumindest ein Kanal (30) in einer Richtung parallel zu einer Ebene von dem planaren Verteiler (20) und koppelt eine Apertur von der ersten Schicht (24) mit einer Apertur von der zweiten Schicht (26).

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