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公开(公告)号：KR20200138540A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：KR20190064219
申请日：2019-05-31
Applicant: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Inventor： KIM JAEMUN , KIM GYEOM , LEE SEUNG HUN , KIM DAHYE , SHIN ILGYOU , LEE SANGMOON , CHOI KYUNGIN
IPC: H01L29/423 , H01L21/8234 , H01L29/66
Abstract: 본발명에따르면, 반도체소자는기판상에돌출된활성패턴; 상기활성패턴상에서상기활성패턴을가로지르며일 방향으로연장되는게이트패턴; 상기게이트패턴의일 측에제공된게이트스페이서; 및상기활성패턴및 상기게이트스페이서사이에개재된캐핑패턴을포함하고, 상기활성패턴은상기기판의상면상에적층된복수의반도체패턴들을포함하고, 상기캐핑패턴은상기활성패턴및 상기게이트패턴사이로연장되지않을수 있다.
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