公开(公告)号：EP2801110A4

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：EP12864341

申请日：2012-01-05

Applicant: SAPA AB

Inventor： PHELAN MATTHEW ,  TOZIER MICHAEL ,  BJUHR JONAS ,  LITTER DAVID

IPC: H01L23/367 ,  B23P15/26 ,  H01L21/48

CPC classification number: B23P15/26 ,  B23K20/122 ,  B23K20/129 ,  B23K2201/14 ,  B23K2203/10 ,  B23P2700/10 ,  F28D15/0275 ,  F28F3/02 ,  F28F2275/14 ,  H01L21/4882 ,  H01L23/3672 ,  H01L23/427 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T29/49353 ,  Y10T29/49366 ,  H01L2924/00