-
公开(公告)号：CN119836489A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202280099831.1
申请日：2022-09-06
Applicant: SK株式会社
Inventor： 保罗·费福尔特
IPC: C23C16/448 , B01B1/00 , B01D1/00 , B01D7/00 , H01L21/67
Abstract: 使前体物质汽化并传递所汽化的所述前体物质的容器(1)包括：收容部(12)，形成内部空间的边界；以及多个子载体托盘(4)，在所述内部空间内相互叠置，作为形成气体流路的各个子载体托盘(4)，所述多个子载体托盘(4)中的至少一个包括：子载体支架(41)，用于储存所述前体物质；以及支架盖(42)，抵近所述子载体支架(41)，实质上，所述支架盖包括至少一个销(44)，所述至少一个销(44)以形成覆盖所述前体物质的整个区域的气体流路(C)的方式朝向所述子载体支架(41)向下突出形成。
Search Results
1
records
(took 0.025 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
