结合方法及其装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101444873B

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN200810179513.8

    申请日:2008-11-28

    CPC classification number: B23K20/02

    Abstract: 本发明涉及一种结合方法及其装置。氮气罐(22)、回转泵(30)和机械增压泵(31)连接到结合容器(12),结合容器(12)构成用于进行扩散结合的结合装置(10),所述结合装置进一步包括压力传感器(32)。结合容器(12)内形成有氮气气压,在控制电路(38)的控制操作下,氮气导入量被控制,致使压力基本上固定在3-105Pa之间的预定压力上。在这种状态时,在液压缸(44)的杆(46)的作用下,第二电极(16)趋近第一电极(14),并最终压在位于第一电极(14)上的第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)上。此外,电流通过第一电极(14)和第二电极被施与第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)。

    结合方法及其装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101444873A

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200810179513.8

    申请日:2008-11-28

    CPC classification number: B23K20/02

    Abstract: 本发明涉及一种结合方法及其装置。氮气罐(22)、回转泵(30)和机械增压泵(31)连接到结合容器(12),结合容器(12)构成用于进行扩散结合的结合装置(10),所述结合装置进一步包括压力传感器(32)。结合容器(12)内形成有氮气气压,在控制电路(38)的控制操作下,氮气导入量被控制,致使压力基本上固定在3-105Pa之间的预定压力上。在这种状态时,在液压缸(44)的杆(46)的作用下,第二电极(16)趋近第一电极(14),并最终压在位于第一电极(14)上的第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)上。此外,电流通过第一电极(14)和第二电极被施与第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)。

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