公开(公告)号：CN103574080B

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201210359477.X

申请日：2012-09-24

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 李行三 ,  金锡 ,  李义杓

IPC: F16K3/00 ,  F16K3/30 ,  G02B21/00

Abstract: 本发明提供真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。本发明的真空保持阀门通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：主体部，从外部接收动力而沿着腔室的壁面进行并进运动；止挡部，位于腔室上，具备旋转辊；阀门部，在与主体部连接的状态下移动，其一面与旋转辊接触，从而其移动方向转换为开口部侧方向或者远离开口部的方向中的一个方向而开闭腔室；旋转构件，在主体部上与旋转辊相对配置，当止挡部和阀门部接触时接触阀门部的另一面，以引导阀门部的移动方向。由此，本发明提供一种通过旋转辊和旋转构件引导阀门部的运动，以防止主体部的前进或者后退时发生的冲击，从而能够抑制粉尘产生。

公开(公告)号：CN103574080A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201210359477.X

申请日：2012-09-24

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 李行三 ,  金锡 ,  李义杓

IPC: F16K3/00 ,  F16K3/30 ,  G02B21/00

CPC classification number: H01J37/18

Abstract: 本发明提供真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。本发明的真空保持阀门通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：主体部，从外部接收动力而沿着腔室的壁面进行并进运动；止挡部，位于腔室上，具备旋转辊；阀门部，在与主体部连接的状态下移动，其一面与旋转辊接触，从而其移动方向转换为开口部侧方向或者远离开口部的方向中的一个方向而开闭腔室；旋转构件，在主体部上与旋转辊相对配置，当止挡部和阀门部接触时接触阀门部的另一面，以引导阀门部的移动方向。由此，本发明提供一种通过旋转辊和旋转构件引导阀门部的运动，以防止主体部的前进或者后退时发生的冲击，从而能够抑制粉尘产生。