公开(公告)号：CN104781911B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201380057203.8

申请日：2013-10-11

Applicant: SOITEC公司

Inventor： Y-M·勒瓦扬 ,  E·纳瓦罗

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/76251 ,  H01L21/2007 ,  H01L23/5387 ,  H01L29/0657 ,  H01L29/0692 ,  H01L41/053 ,  H01L41/098 ,  H01L41/187 ,  H01L41/33 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/00

Abstract: 该方法包括如下步骤：a)提供第一衬底(1)，第一衬底(1)包括有源层(10)，有源层(10)由具有杨氏模量E1和厚度h1的第一材料制成；b)提供第二衬底(2)，第二衬底(2)由具有杨氏模量E2和厚度h2的第二材料制成；c)弯曲第一衬底(1)和第二衬底(2)，以使第一衬底(1)和第二衬底(2)的每个具有曲率半径为R的弓形形状；d)将第二衬底(2)接合到有源层(10)上，以使第二衬底(2)符合第一衬底(1)的形状；e)重建第二衬底(2)的静态初始形状，所述方法值得注意之处在于，第二衬底(2)的第二材料为满足关系E2/E1＜10‑2的柔性材料，所述方法值得注意之处在于第二衬底(2)的厚度满足关系h2/h1≥104，并且所述方法值得注意之处在于所述曲率半径满足关系

公开(公告)号：CN104781911A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201380057203.8

申请日：2013-10-11

Applicant: SOITEC公司

Inventor： Y-M·勒瓦扬 ,  E·纳瓦罗

IPC: H01L21/20

CPC classification number: H01L21/76251 ,  H01L21/2007 ,  H01L23/5387 ,  H01L29/0657 ,  H01L29/0692 ,  H01L41/053 ,  H01L41/098 ,  H01L41/187 ,  H01L41/33 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/00

Abstract: 该方法包括如下步骤：a)提供第一衬底(1)，第一衬底(1)包括有源层(10)，有源层(10)由具有杨氏模量E1和厚度h1的第一材料制成；b)提供第二衬底(2)，第二衬底(2)由具有杨氏模量E2和厚度h2的第二材料制成；c)弯曲第一衬底(1)和第二衬底(2)，以使第一衬底(1)和第二衬底(2)的每个具有曲率半径为R的弓形形状；d)将第二衬底(2)接合到有源层(10)上，以使第二衬底(2)符合第一衬底(1)的形状；e)重建第二衬底(2)的静态初始形状，所述方法值得注意之处在于，第二衬底(2)的第二材料为满足关系E2/E1＜10-2的柔性材料，所述方法值得注意之处在于第二衬底(2)的厚度满足关系h2/h1≥104，并且所述方法值得注意之处在于所述曲率半径满足关系