Fluidsteuervorrichtung, Mikroteilchenmessvorrichtung und Fluidsteuerverfahren

    公开(公告)号:DE112017002880T5

    公开(公告)日:2019-02-21

    申请号:DE112017002880

    申请日:2017-03-07

    Applicant: SONY CORP

    Abstract: Die vorliegende Technologie ist hauptsächlich an das Bereitstellen einer Technologie gerichtet, die ein problemloses Einrichten einer Hüllflüssigkeit ermöglicht.Um das Ziel zu erreichen, ist bei der vorliegenden Technologie eine Fluidsteuervorrichtung bereitgestellt, die wenigstens Folgendes aufweist: einen Stützteil, der eine Hüllflüssigkeitsspeichereinheit stützt; und einen versiegelten Teil, der den Stützteil beherbergt, wobei der Stützteil von dem versiegelten Teil abnehmbar ist, und der versiegelte Teil durch Druckbeaufschlagung steuerbar ist, um eine Hüllflüssigkeit, die in der Hüllflüssigkeitsspeichereinheit gespeichert ist, einer Mikroteilchenmessvorrichtung zuzuführen.

    Mikroteilchenmessvorrichtung und Reinigungsverfahren für Mikroteilchenmessvorrichtung

    公开(公告)号:DE112017002897T5

    公开(公告)日:2019-02-14

    申请号:DE112017002897

    申请日:2017-03-07

    Applicant: SONY CORP

    Abstract: Die vorliegende Technologie ist hauptsächlich auf das Bereitstellen einer Technologie ausgerichtet, die zum Reduzieren eines Kontaminationsrisikos in der Lage ist.Um das Ziel zu erreichen, ist bei der vorliegenden Technologie eine Mikroteilchenmessvorrichtung bereitgestellt, die wenigstens Folgendes aufweist: eine Lichtemissionseinheit, die Licht zu einem zu analysierenden Mikroteilchen emittiert; eine Lichtdetektionseinheit, die Licht, das von dem Mikroteilchen erzeugt wird, bei einer vorbestimmten Detektionsposition detektiert; und eine Analyseeinheit, die mit der Lichtdetektionseinheit verbunden ist und einen Detektionswert des Lichts analysiert, das durch die Lichtdetektionseinheit detektiert wird, wobei die Lichtdetektionseinheit von der Detektionsposition weg beweglich ist.

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