公开(公告)号：FR3099964A1

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：FR1909210

申请日：2019-08-14

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Inventor： SCHMITT JOEL ,  SAIDI BILEL ,  JOBLOT SYLVAIN

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/22 ,  H01L21/3213

Abstract: Procédé de réalisation d’une électrode dans un substrat de base et dispositif électronique, dans lesquels au moins une tranchée (4) est réalisée dans le substrat de base (2) et cette tranchée est remplie d’une matière amorphe recuite pour former une électrode en une matière cristallisée (5), et dans lesquels des particules (20) sont implantées dans la partie de l’électrode située du côté de la face frontale du substrat de base. Figure pour l’abrégé : Fig 1.

公开(公告)号：FR3095294A1

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：FR1904027

申请日：2019-04-16

Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS

Inventor： SAIDI BILEL

IPC: H01L21/3065

Abstract: Structuration d’une ouverture dans un substrat La présente description concerne un procédé de structuration d’au moins une ouverture (3) dans un substrat (1), comportant les étapes suivantes : effectuer une implantation ionique oblique (A) ; procéder à une oxydation (B) ; et éliminer un oxyde ainsi formé (C). Figure pour l'abrégé : Fig. 4