公开(公告)号：FR2934083B1

公开(公告)日：2010-09-10

申请号：FR0804063

申请日：2008-07-17

Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET

Inventor： TURLURE SEBASTIEN

IPC: H01L21/68

公开(公告)号：FR2934083A1

公开(公告)日：2010-01-22

申请号：FR0804063

申请日：2008-07-17

Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET

Inventor： TURLURE SEBASTIEN

IPC: H01L21/68

Abstract: L'invention concerne un procédé de chargement d'une plaquette de semi-conducteur (1) dans une unité de traitement (10), comprenant des étapes d'ouverture de l'unité de traitement (10), insertion d'une plaquette (1) dans l'unité de traitement, ajustement de la position de la plaquette dans l'unité de traitement pour qu'elle soit dans une certaine position par rapport à des repères (13a-13f, 14), insertion d'une caméra (26) dans l'unité de traitement (10) en regard des repères (13a-13f, 14), acquisition par la caméra d'une image (41a-41f) des repères et d'une partie de la plaquette (1), et affichage sur un écran d'affichage (31) de l'image acquise, l'ajustement de la position de la plaquette étant effectué en fonction de la position de la plaquette par rapport aux repères sur l'image affichée.