公开(公告)号：NL2008943C

公开(公告)日：2013-12-09

申请号：NL2008943

申请日：2012-06-06

Applicant: STICHTING MATERIALS INNOVATION INST M2I

Inventor： BEENAKKER CORNELIS IGNATIUS MARIA ,  TANG JIAQI ,  SCHELEN JOHANNES BERNARDUS JOZEF

IPC: G01N1/32 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67

CPC classification number: G01N1/32 ,  H01J37/32192 ,  H01J37/32201 ,  H01J37/32247 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32366 ,  H01J37/32825 ,  H01J37/32935 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67253 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/98 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/20752

公开(公告)号：NL2008943C2

公开(公告)日：2013-12-09

申请号：NL2008943

申请日：2012-06-06

Applicant: STICHTING MATERIALS INNOVATION INST M2I

Inventor： BEENAKKER CORNELIS IGNATIUS MARIA ,  TANG JIAQI ,  SCHELEN JOHANNES BERNARDUS JOZEF

IPC: G01N1/32 ,  H01J37/32 ,  H01L21/67