公开(公告)号：FR3026891A1

公开(公告)日：2016-04-08

申请号：FR1459541

申请日：2014-10-06

Applicant: STMICROELECTRONICS (CROLLES 2) SAS

Inventor： GUYADER FRANCOIS ,  ODDOU JEAN-PIERRE ,  ALLEGRET-MARET STEPHANE ,  GROS-JEAN MICKAEL

IPC: H01L27/146

Abstract: Dispositif d'imagerie intégré à illumination face arrière, comprenant un substrat semiconducteur et une zone (2) de pixels utiles (PX) délimités par des tranchées d'isolation profondes capacitives (3) ménagées dans le substrat. Le dispositif comprend une zone périphérique (4) située à l'extérieur de ladite zone (2) de pixels utiles, des plots de contacts (6), et une couche électriquement conductrice continue (5) configurée pour au moins former dans ladite zone de pixels utiles, une électrode dans chaque tranchée d'isolation profonde capacitive, et dans ladite zone périphérique, une couche de redistribution (51) électriquement couplée d'une part à toutes les électrodes et d'autre part à au moins un plot de contact (60) destiné à recevoir une tension de polarisation de toutes lesdites électrodes, ladite électrode étant située dans la tranchée capacitive correspondante entre un diélectrique de tranchée et au moins un matériau de remplissage de ladite tranchée électriquement isolant.