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公开(公告)号：FR3126170B1
公开(公告)日：2024-10-04
申请号：FR2108614
申请日：2021-08-10
Applicant: STMICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor： BAR PIERRE , HUGUENIN JEAN LUC
IPC: H01L27/146
Abstract: Procédé de fabrication d'un capteur d'images La présente description concerne un procédé de fabrication d'un capteur d'images comportant :a) la formation d'une pluralité de microlentilles (23) dans une couche (15) en une première résine ;b) après l'étape a), la formation d'un masque (25) en une deuxième résine, sur et en contact avec ladite couche (15) ; etc) après l'étape b), la gravure chimique par plasma de ladite couche (15), à travers le masque (25). Figure pour l'abrégé : Fig. 11
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