公开(公告)号：EP1677073A1

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：EP04425957.0

申请日：2004-12-29

Applicant: STMicroelectronics S.r.l.

Inventor： Spinola Durante, Guido ,  Sassolini, Simone ,  Rusconi Clerici, Andrea

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5762 ,  G01C19/5747

Abstract: Integrated gyroscope (1) including a suspended mass (10); mobile actuation electrodes (11) extending from the suspended mass; and a sensing mass (6) connected to the actuation mass (10) through coupling springs (25). The suspended mass (10) is formed by an external part (10a) and an internal part (10b), electrically separated by an electrical-insulation region (23) having a closed annular shape. The electrical-insulation region (23) is laterally completely surrounded by the external part (10a) and by the internal part (10, 10b). In one embodiment, the suspended mass (10) has the shape of a closed frame delimiting an opening (18), the sensing mass (20) is formed inside the opening (18) and is connected to the internal part (10b), and the mobile actuation electrodes (11) are connected to the external part (10a).

Abstract translation: 集成陀螺仪（1），包括悬挂质量（10）; 从悬挂块延伸的移动致动电极（11） 以及通过联接弹簧（25）连接到致动质量块（10）的传感块（6）。 悬挂物质（10）由外部部分（10a）和内部部分（10b）形成，内部部分（10b）由具有闭合环形的电绝缘区域（23）电分离。 电绝缘区域（23）由外部部件（10a）和内部部件（10,10b）横向完全包围。 在一个实施例中，悬挂质量（10）具有限定开口（18）的封闭框架的形状，感测块（20）形成在开口（18）内部并连接到内部部分（10b），并且 移动致动电极（11）连接到外部部分（10a）。