公开(公告)号：WO2010133607A2

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：PCT/EP2010056835

申请日：2010-05-18

Applicant: SWATCH GROUP RES & DEV LTD ,  STEINMUELLER DETLEF ,  STEINMUELLER DORIS ,  DREXEL HERWIG ,  GHODBANE SLIMANE ,  RICHARD DAVID ,  CUSIN PIERRE

Inventor： STEINMUELLER DETLEF ,  STEINMUELLER DORIS ,  DREXEL HERWIG ,  GHODBANE SLIMANE ,  RICHARD DAVID ,  CUSIN PIERRE

IPC: C23C16/27

CPC classification number: C23C16/279 ,  C23C16/26 ,  C23C16/271 ,  G04B13/02 ,  G04B15/14 ,  G04D3/0069

Abstract: Method for coating micromechanical components of a micromechanical system, in particular a watch movement, comprising: providing a substrate (4) component to be coated; - providing said component with a diamond coating (1 ); wherein diamond coating is provide by CVD in a reaction chamber and during CVD deposition, during the last portion of the growth process, a controlled change of the carbon content within the reaction chamber is provided, thereby providing a change of the sp2/sp3 carbon bonds (2) in the vicinity of the surface. Corresponding micromechanical components are also provided.

Abstract translation: 用于涂覆微机械系统的微机械部件的方法，特别是手表机芯，包括：提供待涂覆的基底（4）部件; - 向所述部件提供金刚石涂层（1）; 其中通过CVD在反应室中和在CVD沉积期间通过CVD提供金刚石涂层，在生长过程的最后部分期间，提供反应室内碳含量的受控变化，从而提供sp2 / sp3碳键的变化 （2）在表面附近。 还提供了相应的微机械部件。

公开(公告)号：DE112011103781T5

公开(公告)日：2013-10-24

申请号：DE112011103781

申请日：2011-10-20

Applicant: SWATCH GROUP RES & DEV LTD

Inventor： BOURBAN STEWES ,  RICHARD DAVID ,  GILOMEN BEAT ,  STEINMUELLER DETLEF ,  DREXEL HERWIG ,  STEINMUELLER DORIS ,  GHODBANE SLIMANE

IPC: C23C16/27 ,  B81B3/00 ,  D04B15/14

Abstract: Verfahren zum Beschichten mikromechanischer Komponenten eines mikromechanischen Systems, insbesondere eines Uhrwerks, aufweisend: • Bereitstellen einer zu beschichtenden Substratkomponente (4); • Versehen der Komponente mit einer ersten Diamantbeschichtung (2), die derart dotiert ist, um die Leitfähigkeit der Diamantschicht zu steigern; • Versehen der Komponente mit einer zweiten Diamantbeschichtung (3); wobei: • die zweite Diamantbeschichtung durch Abscheidung in einer Reaktionskammer aufgebracht wird; während der CVD Abscheidung, während des letzten Abschnitts des Wachstumsprozesses wird eine kontrollierte Steigerung des Kohlenstoffgehalts in der Reaktionskammer bereitgestellt, wodurch eine Steigerung der sp2/sp3 Kohlenstoff (6) Bindungen bis zu einem sp2 Gehalt im Wesentlichen zwischen 1% und 45% bereitgestellt wird. Entsprechende mikromechanische Komponenten werden ebenfalls bereitgestellt.

公开(公告)号：HK1169456A1

公开(公告)日：2013-01-25

申请号：HK12110099

申请日：2012-10-12

Applicant: SWATCH GROUP RES & DEV LTD

Inventor： STEINMLLER DETLEF ,  STEINMLLER DORIS ,  DREXEL HERWIG ,  GHODBANE SLIMANE ,  RICHARD DAVID ,  CUSIN PIERRE

IPC: C23C20060101

Abstract: Method for coating micromechanical components of a micromechanical system, in particular a watch movement, comprising: providing a substrate component to be coated; providing said component with a diamond coating; wherein diamond coating is provide by CVD in a reaction chamber and during CVD deposition, during the last portion of the growth process, a controlled change of the carbon content within the reaction chamber is provided, thereby providing a change of the sp2/sp3 carbon bonds in the vicinity of the surface. Corresponding micromechanical components are also provided.