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公开(公告)号：CN1110132C
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：CN96191103.4
申请日：1996-09-13
Applicant: TDK株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H3/08
Abstract: 对在压电性基板上边已形成了由已添加了铜的铝合金膜构成的电极的弹性表面波器件加以改良。在弹性表面波器件的电极中，铝合金膜中的铜元素的浓度在晶粒边界近傍比晶粒内高，故偏析于晶粒边界处。在这种弹性表面波器件的电极中，在晶粒边界处析出的不是以Al与Cu的金属间化合物的形态而是以铜元素的形态存在着的铜的浓度在晶粒边界处比晶粒内高，变成了偏析状态。形成弹性表面波器件的电极的铝合金膜的晶粒边界近傍的铜元素的浓度与晶粒内的铜元素的浓度之比大于1.6。在更为理想的形态中，这一比值大于2.2。形成于压电性基板的表面上边的电极理想的是由添加进0.5wt%～2wt%的铜的铝合金膜构成。另外，还公开了在压电性基板的表面上边形成这种电极的方法。
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公开(公告)号：CN1239603A
公开(公告)日：1999-12-22
申请号：CN98801385.1
申请日：1998-07-02
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H9/02559
Abstract: 一种声表面波器件，包括由64°旋转Y－切割铌酸锂(64LN)或36°旋转Y－切割的钽酸锂(36LT)构成的压电衬底和在其上形成的叉指电极。叉指电极包括钛缓冲金属膜和在其上形成的铝膜。在64LN衬底上，仅从选区电子衍射结果看，钛缓冲金属膜和铝膜都是单晶薄膜；在36LT衬底上，通过在钛缓冲金属膜上形成铝膜可获得取向能力强的、在(111)方向上取向的多晶铝膜。当铝膜转化成单晶或取向强的(111)取向多晶体时，都可以阻止铝原子的迁移，提高功率寿命。
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公开(公告)号：CN1109402C
公开(公告)日：2003-05-21
申请号：CN99806810.1
申请日：1999-10-12
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02543 , H03H9/02559 , H03H9/145
Abstract: 本发明的目的在于提供一种在具有近似于36度旋转Y切割的切割角的钽酸锂基片上带有电极膜的SAW装置，该电极膜包括具有改进功率耐久性的铝单晶膜。SAW装置在一个基片上带有叉指型电极。基片由38至44度旋转Y切割钽酸锂单晶建造，每根叉指型电极包括一层钛膜和一层形成在其上的铝膜，并且铝膜是仅在选择区域电子衍射分析时产生斑点的单晶膜。
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公开(公告)号：CN1165595A
公开(公告)日：1997-11-19
申请号：CN96191103.4
申请日：1996-09-13
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H3/08
Abstract: 对在压电性基板上边已形成了由已添加了铜的铝合金膜构成的电极的弹性表面波器件加以改良。在弹性表面波器件的电极中，铝合金膜中的铜元素的浓度在晶粒边界近傍比晶粒内高，故偏析于晶粒边界处。在这种弹性表面波器件的电极中，在晶粒边界处析出的不是以Al与Cu的金属间化合物的形态而是以铜元素的形态存在着的铜的浓度在晶粒边界处比晶粒内高，变成了偏析状态。形成弹性表面波器件的电极的铝合金膜的晶粒边界近傍的铜元素的浓度与晶粒内的铜元素的浓度之比大于1.6。在更为理想的形态中，这一比值大于2.2。形成于压电性基板的表面上边的电极理想的是由添加进0.5wt％～2wt％的铜的铝合金膜构成。另外，还公开了在压电性基板的表面上边形成这种电极的方法。
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公开(公告)号：CN1338146A
公开(公告)日：2002-02-27
申请号：CN00803200.9
申请日：2000-03-31
Applicant: TDK株式会社
IPC: H03H3/08
CPC classification number: B82Y30/00 , H03H3/08 , H03H9/02622 , H03H9/02937
Abstract: 在本发明的表面声波器件中,在有含有铝或铝合金的电极的压电基底表面上形成一个金属氧化物层,金属氧化物层形成的方式是至少覆盖所述电极。金属氧化物通过氧化一个薄得足以提供不连续的膜的金属层形成。至少在电极上的其中金属层以不连续的膜的形式存在的一个区域内的金属层通过氧化改变成连续的膜,所述连续的膜可以达到更加改进的防止腐蚀的效果。另外,设置金属氧化层对于表面声波器件的电气特性没有实质的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1653689A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN03810508.X
申请日：2003-05-14
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H9/6483
Abstract: 本发明公开了一种声表面波元件(11)，其包括：在输入端(18)与输出端(19)之间形成的第1布线段(20)；在第1布线段(20)上串联布置的多个第1声表面波谐振器(15)；与第1声表面波谐振器(15)相对、在输入端(18)侧或输出端(19)侧的第1布线段(20)上串联布置的多个第2声表面波谐振器(16)；在第1布线段(20)上的第2声表面波谐振器(16)相互之间的中点与参考电位电极(21)之间形成的多个第2布线段(22)；分别布置在第2布线段(22)上的多个第3声表面波谐振器(17)，它们的反谐振频率与第2声表面波谐振器(16)的谐振频率一致。
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公开(公告)号：CN1205744C
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN98801385.1
申请日：1998-07-02
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H9/02559
Abstract: 提供一种声表面波器件及其制造工艺。该声表面波器件，包括由64°旋转Y-切割铌酸锂(64LN)或36°旋转Y-切割的钽酸锂(36LT)构成的压电衬底和在其上形成的叉指电极。叉指电极包括钛缓冲金属膜和在其上形成的铝膜。在64LN衬底上，仅从选区电子衍射结果看，钛缓冲金属膜和铝膜都是单晶薄膜；在36LT衬底上，通过在钛缓冲金属膜上形成铝膜可获得取向能力强的、在(111)方向上取向的多晶铝膜。当铝膜转化成单晶或取向强的(111)取向多晶体时，都可以阻止铝原子的迁移，提高功率寿命。
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公开(公告)号：CN1578134A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410071150.8
申请日：2004-07-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H9/02992 , H01L2224/05001 , H01L2224/05023 , H01L2224/05124 , H01L2224/05568 , H01L2224/05624 , H01L2224/16225 , H03H3/08 , H03H9/02929 , H03H9/02984 , H03H9/0576 , H03H9/059 , H03H9/1071 , H03H9/72 , H03H9/725 , Y10T29/42 , H01L2924/00014
Abstract: 在依据本发明的一个具体实施方案的声表面波元件中，在薄膜电极18上形成的凸起电极20带有通孔31。另外，当部分凸缘进入凸起电极20的通孔31后，由于穿过薄膜电极28的氧化膜18a，在凸起电极20上的凸缘26到达薄膜电极18。由此，实现压电单晶衬底28上形成的薄膜电极18和凸缘26之间的传导。由此，在由单晶体铝制成的薄膜电极18的表面上形成氧化膜18a，但是进入凸起电极20的通孔31的部分凸缘26穿过该氧化膜18a，这样实现薄膜电极18和凸缘26之间更高精确度的传导。
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公开(公告)号：CN1578131A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410070944.2
申请日：2004-07-16
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: H03H9/02929 , H01L2224/16225 , H01L2924/16195 , H03H3/08 , H03H9/02984 , H03H9/02992 , H03H9/0576 , H03H9/059 , H03H9/1071 , H03H9/72 , H03H9/725
Abstract: 一个声表面波元件12包括一个由压电衬底上形成的单晶体铝组成的薄膜电极。由单晶体铝所组成的薄膜电极18中可分离出Cu，Ta，W和Ti等金属中的至少一种。在这个声表面波元件12中，Cu或类似的发生在薄膜电极18中。这样的分离有效g地减少在倒装片安装的超声波连接过程中压电衬底28上裂纹的出现。就是说，由于压电衬底28上裂纹的出现被减少，所以有利地提高了声表面波元件12中经受超声波振动的容许度。
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公开(公告)号：CN1159843C
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN00803200.9
申请日：2000-03-31
Applicant: TDK株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: B82Y30/00 , H03H3/08 , H03H9/02622 , H03H9/02937
Abstract: 在本发明的表面声波器件中，在有含有铝或铝合金的电极的压电基底表面上形成一个金属氧化物层，金属氧化物层形成的方式是至少覆盖所述电极。金属氧化物通过氧化一个薄得足以提供不连续的膜的金属层形成。至少在电极上的其中金属层以不连续的膜的形式存在的一个区域内的金属层通过氧化改变成连续的膜，所述连续的膜可以达到更加改进的防止腐蚀的效果。另外，设置金属氧化层对于表面声波器件的电气特性没有实质的影响。
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