压电陶瓷溅射靶材、无铅压电薄膜及压电薄膜元件

    公开(公告)号:CN107235723A

    公开(公告)日:2017-10-10

    申请号:CN201710190349.X

    申请日:2017-03-27

    Abstract: 本发明提供一种在无铅压电薄膜的制造中可以充分地抑制漏电的发生的压电陶瓷溅射靶材。所述压电陶瓷溅射靶材以化学式(I):ABO3所表示的钙钛矿型氧化物为主成分,其特征在于,所述化学式(I)的A成分至少含有K(钾)和/或Na(钠),所述化学式(I)的B成分至少含有Nb(铌)、Ta(钽)和Zr(锆)中的至少一种(但是,必须有Nb(铌)),所述压电陶瓷溅射靶材由多个晶粒和存在于所述晶粒之间的晶界构成,所述晶界中所述B成分中Nb(铌)、Ta(钽)和Zr(锆)中的至少一种的摩尔比与所述晶粒的晶粒内的摩尔比相比多30%以上。

    压电陶瓷组合物及其制造方法、压电元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1830897A

    公开(公告)日:2006-09-13

    申请号:CN200610056980.2

    申请日:2006-03-07

    Abstract: 本发明提供一种压电陶瓷组合物,其主成分为以Pb、Ti、Zr为构成元素的复合氧化物,含有从Mn、Co、Cr、Fe、Ni中选择的至少一种作为第一副成分,该第一副成分的含量换算成氧化物为小于等于0.2质量%(但不包括0);或者,含有以CuOx(x≥0)表示的成分中的至少一种作为第一副成分,此时的第一副成分的含量换算成CuO为小于等于3.0质量%(但不包括0)。压电陶瓷组合物在还原烧成条件下烧成,所述还原烧成条件例如为烧成温度在800℃~1200℃,氧分压为1×10-10~1×10-6大气压。本发明可以使用Cu、Ni等廉价金属材料作为电极材料,可以抑制高温下电阻、电气机械结合系数kr的下降。

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