-
公开(公告)号：CN107482111A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710423278.3
申请日：2017-06-07
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/083
Abstract: 本发明提供一种压电元件，具备具有沿着第一方向排列的第一区域及第二区域的主体部。第一区域沿着第一方向伸缩变形。第二区域以与第一方向交叉的第二方向的一侧或另一侧成为弯曲外侧的方式弯曲变形。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1504998A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：CN200310115769.X
申请日：2003-11-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/0946 , H01L41/25 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供一种致动器(1)，其具有一对臂(12)和一个将臂相互连接的连接部件(15)。臂(12)和连接部件(15)整个地由单晶硅形成。各自的压电装置(30)结合在臂(12)上。
-
公开(公告)号：CN107482111B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201710423278.3
申请日：2017-06-07
Applicant: TDK株式会社
IPC: H01L41/083
Abstract: 本发明提供一种压电元件，具备具有沿着第一方向排列的第一区域及第二区域的主体部。第一区域沿着第一方向伸缩变形。第二区域以与第一方向交叉的第二方向的一侧或另一侧成为弯曲外侧的方式弯曲变形。
-
公开(公告)号：CN1320525C
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200310115773.6
申请日：2003-11-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/0946 , H01L41/25 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供一种导线易于连接的致动器及其制作方法。在本发明的致动器(10)中，一对通过掺有杂质而降低了自身电阻的硅臂(14、14)通过玻璃基板(12)相互连接。每个硅臂(14)的预定的表面(24b)形成有压电部分(20)，而压电部分(20)的预定的表面(20b)形成有薄膜电极(22)。因此，当电压施加于连接在薄膜电极(22)上的连接导线(22A)和连接于硅臂(14)上的连接导线(18A)时，压电部分(20)被驱动。由于连接导线(18A)能够连接在硅臂(14)的任何部位上，当适当选择导线(18A)易于连接的位置和表面后，线路连接即可实现。
-
公开(公告)号：CN1319046C
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200310115769.X
申请日：2003-11-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/0946 , H01L41/25 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供一种致动器(1)，其具有一对臂(12)和一个将臂相互连接的连接部件(15)。臂(12)和连接部件(15)整个地由单晶硅形成。各自的压电装置(30)结合在臂(12)上。
-
公开(公告)号：CN1504999A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：CN200310115773.6
申请日：2003-11-28
Applicant: TDK株式会社
CPC classification number: G11B5/5552 , H01L41/0946 , H01L41/25 , H01L41/313
Abstract: 本发明提供一种导线易于连接的致动器及其制作方法。在本发明的致动器(10)中，一对通过掺有杂质而降低了自身电阻的硅臂(14、14)通过玻璃基板(12)相互连接。每个硅臂(14)的预定的表面(24b)形成有压电部分(20)，而压电部分(20)的预定的表面(20b)形成有薄膜电极(22)。因此，当电压施加于连接在薄膜电极(22)上的连接导线(22A)和连接于硅臂(14)上的连接导线(18A)时，压电部分(20)被驱动。由于连接导线(18A)能够连接在硅臂(14)的任何部位上，当适当选择导线(18A)易于连接的位置和表面后，线路连接即可实现。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.024 seconds)
