具有改进的灵敏度的MEMS麦克风

    公开(公告)号:CN107534817A

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201580078150.7

    申请日:2015-03-24

    Inventor: L.邹 G.罗卡

    Abstract: 提供了具有改进的灵敏度(例如降低的灵敏度的温度依赖性)的MEMS麦克风。麦克风包括MEMS电容器、充电电路和偏置电路。偏置电路包括闭环控制电路并且创建具有温度依赖性的电压。

    具有改进的灵敏度的MEMS麦克风

    公开(公告)号:CN107534817B

    公开(公告)日:2020-04-14

    申请号:CN201580078150.7

    申请日:2015-03-24

    Inventor: L.邹 G.罗卡

    Abstract: 提供了具有改进的灵敏度(例如降低的灵敏度的温度依赖性)的MEMS麦克风。麦克风包括MEMS电容器、充电电路和偏置电路。偏置电路包括闭环控制电路并且创建具有温度依赖性的电压。

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