公开(公告)号：EP0250522A1

公开(公告)日：1988-01-07

申请号：EP87900210.0

申请日：1986-12-17

Applicant: THE GENERAL ELECTRIC COMPANY, p.l.c.

Inventor： PETERSON, Ian, Robert ,  GIRLING, Ian, Robert

IPC: H01L21

CPC classification number: H01L21/31687

Abstract: Procédé permettant d'améliorer les caractéristiques électriques d'un film mince (1 ou 9) formé sur un susbtrat (3 ou 11) par un procédé Langmuir-Blodgett. Le procédé consiste à immerger le film (1 ou 9) dans un fluide (5 ou 13) et à appliquer un potentiel électrique au substrat (1 ou 9) de sorte qu'une réaction électrochimique à auto-limitation dans le fluide (5 ou 13) provoque le remplissage préférentiel d'éventuelles cavités dans le film (1 ou 9).