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公开(公告)号：WO2007108228A1
公开(公告)日：2007-09-27
申请号：PCT/JP2007/051234
申请日：2007-01-26
IPC: H01L21/56
CPC classification number: H01L21/565 , B29C43/18 , B29C43/36 , B29C43/50 , B29C43/58 , B29C2043/3602 , B29C2043/3623 , B29C2043/5833 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 樹脂成形装置（１）は、インユニット（４）、プレスユニット（７）、およびアウトユニット（９）を備えている。インユニット（４）は、成形前基板(１７）を移送するとともに、樹脂材料（１８）を移送する。プレスユニット（７）は、複数の型組品（５）を含んでいる。アウトユニット（９）は、型組品（５）内で樹脂封止された成形済基板（２０）を移送する。また、樹脂封止成形装置（１）は、搬送レール（１０）と、搬送レール（１０）に沿って移動する供給機構（１１）および取出機構（１２）を備えている。さらに、複数のプレスユニット（７）は、互いに連結された状態で、インユニット（４）とアウトユニット（９）との間に配置されている。
Abstract translation: 树脂成型装置（1）包括单元（4），按压单元（7）和出单元（9）。 单元（4）不仅传送预成型基板（17）而且还传送树脂材料（18）。 压制单元（7）包括多个模具组件（5）。 输出单元（9）将已被树脂密封的模制基板（20）传送到模具组件（5）内。 此外，树脂密封/模制设备（1）不仅包括运输轨道（10），还包括沿着运输轨道（10）行进的拆卸装置（12）和供应装置（11）。 此外，在连接单元（4）和外出单元（9）之间设置有彼此连接的多个按压单元（7）。
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公开(公告)号：JP2017022269A
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：JP2015138950
申请日：2015-07-10
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/301
CPC classification number: H01L21/683
Abstract: 【課題】反りを有する封止済基板を、2種類の治具を使用して切断する。 【解決手段】複数の単位領域が形成された封止済基板1を、切削用治具9に設けられ第1の吸着面積を有する第1の吸着口によって、切削用治具9に吸着する。吸着された封止済基板1の少なくとも一部の切断線において、第1の回転刃22Aを使用して切削溝を形成する。切断用治具15に設けられた複数の第2の吸着口によって、封止済基板1を切断用治具15に吸着する。1個の第2の吸着口が第2の吸着面積でもって1個の単位領域を吸着する。切断用治具15に吸着された封止済基板1の切断線において、第2の回転刃22Bを使用して封止済基板1を切断する。第1の吸着面積に含まれ1個の単位領域を吸着する単位吸着面積は第2の吸着面積より大きいので、反りを有する封止済基板1が切削用治具9に確実に吸着される。形成された切削溝によって封止済基板1の反りが低減される。 【選択図】図7
Abstract translation: 具有经纱A中的树脂封装的基板，通过使用两种类型的夹具的削减。 具有多个单位区域是由具有设置在切割夹具9的第一吸引区域，吸附在切割夹具9上的第一吸入口形成在所述树脂封装的基板1。 在至少一些所吸附，通过使用第一转动刀片22A，以形成切槽的树脂封装基板1的切割线。 多个在切割夹具15设置第二吸入口的，吸附在切割夹具15上的树脂封装的基板1。 一个第二吸口吸附与第二吸附区域中的一个单位面积。 在切割吸附到树脂封装衬底1的固定装置15的切割线，使用第二旋转刀片22B切断密封已经基板1上。 因为用于吸入所述一个单元区域中的单元吸入区域包括在第一吸附区域比所述第二吸附区域大，具有经密封成型基板1被可靠地吸引到切割夹具9。 密封的翘曲已经基板1由形成切槽减小。 点域7
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公开(公告)号：JP6482454B2
公开(公告)日：2019-03-13
申请号：JP2015247561
申请日：2015-12-18
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/60 , H01L23/00 , H01L23/28 , H01L21/304 , B24B7/02 , H01L21/301 , H01L21/56
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公开(公告)号：JP2016143861A
公开(公告)日：2016-08-08
申请号：JP2015021259
申请日：2015-02-05
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/301
Abstract: 【課題】切断装置において、回転刃が切断用治具の切断溝からずれることなく封止済基板を切断線に沿って切断する。 【解決手段】第1のマーク17が形成された切断用治具9を切断用テーブル8に取り付ける。第1のマーク17は、封止済基板1に形成された第2のマーク4に対応する。第1のマーク17の位置(第1の座標位置)を予め測定して記憶する。切断用治具9の上に封止済基板1を置いて、第2のマークの位置(第2の座標位置)を測定する。第1の座標位置と第2の座標位置とを比較して封止済基板1のずれ量を算出する。封止済基板1を、切断用治具9から持ち上げてずれ量に応じて移動させ、再び切断用治具9の上に置く。これにより、切断用治具9の切断溝の位置に封止済基板1の切断線の位置を正確に合わせることができるので、切断溝の上に位置する切断線に沿って封止済基板1を切断できる。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种切割装置，其沿着切割线切割封装的基板，同时防止旋转切割器从用于切割的夹具的切割槽移位。解决方案：用于切割的夹具9具有第一标记17 被形成用于切割的工作台8。 第一标记17对应于形成在封装基板1上的第二标记4.预先测量第一标记17的位置（第一坐标位置）并被存储。 将封装的基板1放置在用于切割的夹具9上，并测量第二标记的位置（第二坐标位置）。 比较第一坐标位置和第二坐标位置以计算封装基板1的位移量。封装基板1从夹具9传送，用于切割，移动并放置在夹具9上以再次切割。 因此，封装基板1的切割线的位置能够与切割用夹具9的切割槽的位置精确匹配，使得封装基板1能够沿着位于切割部的切割线切割 图2
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016040060A
公开(公告)日：2016-03-24
申请号：JP2014164468
申请日：2014-08-12
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/301 , B24B27/06 , B23Q3/08 , B24B41/06
Abstract: 【課題】切断装置において、切断用テーブルにおける配管抵抗を小さくする。 【解決手段】切断装置において、基台8の上に吸着治具9を取り付けて切断用テーブル7を構成する。吸着治具9には、封止済基板1の各領域6又は個片化された製品を吸着する吸着孔11を設ける。吸着治具9の厚さを薄くし、吸着孔11の長さを短くする。基台8には、複数の貫通穴18を有するハニカムプレート19と複数の貫通穴20を有するハニカムプレート21とを積層して設ける。切断用テーブル7における吸引通路として、吸着孔11と貫通穴20と貫通穴18と空間16とを順次連通させる。基台8にハニカムプレート21、19を設けることによって、基台8における配管抵抗を非常に小さくすることができる。したがって、切断用テーブル7における配管抵抗を小さくすることができるので、個片化された製品を吸着する吸着力を大きくすることができる。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：减少切割装置的切割台中的管道阻力。解决方案：在切割装置中，通过将吸附夹具9安装在基座8上而构成切割台7.吸引夹具9设置有每个 密封基板1的区域6或用于吸引个体化产品的抽吸孔11。 吸引夹具9的厚度变薄，吸引孔11的长度变短。 具有多个通孔18的蜂巢板19和具有多个通孔20的蜂巢板21层叠在基座8上。吸入孔11，通孔20，通孔18和 空间16顺序地通过，以在切割台7中形成吸入通道。通过在基座8中设置蜂巢板21,19，可以大大减小基座8中的管道阻力。 由于可以减少切割台7中的管道阻力，因此可以增加吸引个体化产品的吸力。图2
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公开(公告)号：JP2016083717A
公开(公告)日：2016-05-19
申请号：JP2014217101
申请日：2014-10-24
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B28D1/22 , B26D7/02 , H01L21/683 , B23Q3/08
Abstract: 【課題】平板状ワークの形状変形に応じてワーク吸着板を変形させて密着させて堅牢に保持する。 【解決手段】記吸着面部32を、面方向内側の内域32aと面方向外側の外域32bに分け、内域32aの硬度を外域32bの硬度より低くする。 【選択図】図15
Abstract translation: 要解决的问题：通过根据平板状工件的形状变形使工件吸盘变形和紧密接触来牢固地保持平板状工件。解决方案：在工件吸入板中，分离吸力表面部分32 进入表面方向的内部区域32a和在平面方向外侧的外部区域32b，使内部区域32a的硬度比外部区域32b的硬度低。图15
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公开(公告)号：JP5897686B1
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：JP2014217101
申请日：2014-10-24
Applicant: TOWA株式会社
IPC: B28D1/22 , B26D7/02 , H01L21/683 , B24B41/06 , B23Q3/08
Abstract: 【課題】平板状ワークの形状変形に応じてワーク吸着板を変形させて密着させて堅牢に保持する。 【解決手段】記吸着面部32を、面方向内側の内域32aと面方向外側の外域32bに分け、内域32aの硬度を外域32bの硬度より低くする。 【選択図】図15
Abstract translation: 公开由工件吸附板刚性地按照板状工件的形状的变形的变形保持紧密接触。 该A符号吸附表面部分32，分为内部区域32a和向内的面方向外表面，所述内区32a比外侧区域32b的硬度低的硬度的外部区域32b上。 .The 15
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公开(公告)号：JP6338555B2
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2015138950
申请日：2015-07-10
Applicant: TOWA株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/301
CPC classification number: H01L21/683
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